苏州半导体百级净化车间装修净化空调设计方案

新风机组采用变频控制,根据洁净房实际使用面积,通过电动风阀的开与关,检测风管内的压力参数,控制风机转速,调整新风量,达到节约能源的目的。

苏州半导体百级净化车间装修净化空调设计方案

(4)尽量采用将新风处理到室内露点温度的空气组织形式,减少因对室内进行温度补偿而造成不必要能源浪费的空气处理形式[3]。

(2)采用热交换器的形式。

本工程位于苏州某工业园内,厂房共有二层,每层建筑面积约m。洁净厂房分阶段完成,共分4期完成。本次工程为第二期,100级洁净车间约为3800m,千级面积约为1280m2,普通区域面积为5000m

6工程调试

但是,更衣间由于施工和位置局限原因,通过干盘管风速达到310m/s以上,造成更衣间静压值过大,因为FFU的全压在50Pa左右,要求通过干盘管的压降不得大于30Pa为宜,在能满足冷负荷的前提下,减小风速(一般取风速2m/s左右),降低了干盘管压降。调整后,静压恢复到设计范围内,满足要求。

2设计主要参数

设计主要参数见表1。

其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高效过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高效段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。该工程新风量取m3/h;

1概况

7总结

(5)在整个洁净房系统中,注意泄压阀的正确选型和安装设置。

新风机组和普通区域风柜都有消防系统提供一个常闭触点信号,当该区域发生火灾时,该点自动断开,新风机组及普通区域风柜风机将停止运行。

洁净厂房的空气处理:洁净房的空气首先通过干表冷盘管冷却,控制洁净房内的温度。使之保持在设计温度的范围内,然后回到洁净房顶端的静压箱中和新风混合后再通过FFU送到洁净房内。新风机组空气处理:新风经过初效过滤后进入冷盘管,冷盘管将新风处理到洁净房露点温度后,进入中效过滤器和加热盘管段,然后进入空气清洗段(该段暂时没有装入),进入二次加热盘管段和加湿段,保证洁净房空气湿度恒定在设计要求范围内。最后由风机将处理的新风送到高效送风段,然后送到洁净房天花顶上的静压箱中,和洁净房的回风混合,通过FFU送到洁净车间内。1K更衣间的空气处理方式相同。

5自动控制系统

本期工程采用一套DDC控制系统,并且和机房总站连接,可以实现局部调控和机房总站对运行状态的控制和观测。

3.1 洁净冷负荷计算

(2)对于大功率的电机设备,宜采用变频控制技术,减少能耗。

然后对FFU逐台进行风速调整,调整到设计要求范围内。

在冬季,当检测室外温度低于某一值,将对空气保持一定的加热,确保足够的加湿量,避免空气饱和无法加入足够的加湿量及风机段有积水,情况严重的高效过滤受潮,影响过滤效果。

夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m,1000级冷负荷指标:480W/m。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。

(1)采用三通阀混合的形式;

FFU为带风机的高效过滤器(Fanfilterunit),FFU将洁净房内的通过干冷盘管冷却的回风,再与新风机组处理的新风混合后,通过FFU中的高效过滤器送到洁净房中。该洁净房地面采用1m高的导电高架地板,实现顶送底回的送风形式,进一步保证气流的垂直度的层流送风形式。

但是,由于干冷盘管中所流动的冷冻水温要求高于洁净房的露点温度,所以水温偏高,降低了盘管的传热系数,及要求增加表冷盘管的传热面积,增加了初次投资成本。又因为,要求流入干冷盘管的冷冻水温要高于洁净房的露点温度,而冷冻站提供的供水温度为7℃,回水温度12℃。所以必须采用二次水循环的形式。

4空调主机及冷冻水系统

在风量风速完全满足设计要求后,再对高效过滤器进行检漏测试,将不合格的高效过滤器换掉。

在洁净房测试前,首先清洁洁净房,让空调系统先运行24小时后,安装高效过滤器和FFU。

(1)大面积高级别(高于或等于100级)的洁净房,宜采用干盘管的形式,可以节省空调机房面积,系统控制灵活。

本工程为2期工程,主机在第一期已经全部到位,采用1000RT开利离心机组共4台,冷冻水管已全部通到所需的位置,并已经预留接管。本工程testarea及新风机组直接采用主冷冻水管的冷冻水,供回水温度7℃/12℃;但洁净房中的干盘管的冷冻水,必须保证冷冻水供回水温度13℃/17℃;设计供回水温差为4℃,即采用热交换器设计二次循环冷冻水系统。

文章来源：《洁净与空调技术》 网址: http://www.jjyktjs.cn/zonghexinwen/2022/0909/365.html