苏州半导体百级净化车间装修净化空调设计方案(2)

3.3 空气处理

洁净房中的干冷盘管,共分了8组,每一组采用一个比例积分阀控制,每组所对应的区域温度采用多点检测,采用多点的平均值PID控制比例积分阀的开启度,调节室内温度。

3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。

该循环水系统形式有两种:

上述程序完成后,进行洁净度、自净时间、温度、湿度、照度、地板导电率、噪声、垂直度等检测,测试结果符合设计要求和相应标准。

在分析两种循环的形式特点后,最终采用了热交换器的形式,进一步的确保系统稳定可靠。当然,增加热交换器设备,投资增大。但是,相对该类工程来说,大面积高洁净度的洁净房,如果采用空气处理机组的形式,该系统风管系统所占用的空间、费用较大,同时,还要占用很大的空调机房面积。在综合考虑对比后,采用干表冷盘管的系统还是经济的,合理的。

3洁净空调系统设计

该空调的方式其特点是:洁净房的湿度采用集中控制的形式,控制简单,便于控制管理。其次,采用干冷盘管的冷却方式,节约空调机房的面积,特别适合大面积大冷负荷而空调机房面积较为紧张的洁净房场所。同时,多组干冷盘管的形式有利室内温度控制,尤其当室内各负荷不均匀时,更加有利。另外,在技术夹层,也不会有冷凝水产生,不易藏污、滋生细菌等。

首先保证新风总风量在设计范围内,然后进行洁净房之间的正压测试,在反复调整风量调节阀后,基本正压值符合设计要求。

(3)新风系统的空气过滤宜采用初、中、高效三级过滤,延长高效过滤器的使用寿命。

在热交换器冷源端的冷冻水的供回水管上,安装电动二通阀,通过DDC的控制,保证二次循环的水温恒定在设计的范围内。二次冷冻水水管系统采用异程式的方式,洁净房回风夹墙中的干冷盘管,共分为8组,每一组设置一个电动比例积分阀,根据所对应的范围感应到的洁净房内的温度,来调整比例积分阀的开启度进行调整,从而将温度控制在设计要求。膨胀水箱设置在楼面上。

湿度也是采用了多点检测控制,通过多点的平均的PID值,通过检测到的湿度大小来控制新风机组冷冻水电动比例积分阀的开启度,或者控制加湿蒸气阀的开启度的大小,达到控制洁净房内的湿度控制在设计范围内。

DCU为干表冷盘管(Drycoilunit),在每一个洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管。干冷盘管的主要作用是对洁净房进行等湿降温,所以,通过干盘管的冷冻水的温度稍大于洁净房的露点温度,保证洁净房空气通过干冷盘管时不结露;

文章来源：《洁净与空调技术》 网址: http://www.jjyktjs.cn/zonghexinwen/2022/0909/365.html